Plateforme ATLAS

La plateforme est adossée au laboratoire de l'Intégration du matériau au système (IMS)

Présentation

La plateforme ATLAS est dédiée au test et à l’analyse de défaillance par faisceau laser des circuits intégrés et systèmes. Son développement a bénéficié d’un soutien important de la région Aquitaine et du CNES.

Cette plateforme couple des moyens optiques et électroniques dans le but de produire une analyse spatiale (cartographie 2D ou 3D) et temporelle, de différentes sensibilités ou caractéristiques d’un circuit intégré. Un faisceau laser est fortement focalisé en différentes positions d’une puce afin d’induire un effet photoélectrique (création de porteurs) ou un effet non-linéaire mais aussi de sonder de manière non invasive l’activité du circuit.

La plateforme comprend actuellement 4 microscopes, dont un horizontal, deux verticaux et un vertical à colonne inversée associé à une station de test sous pointes. Sur chacun de ces microscopes peut être amené différents faisceaux selon la nature de l’interaction recherchée et du type de semiconducteur. Autour de chaque microscope se développe une instrumentation comprenant différents instruments d’analyses électriques et de polarisation du circuit, un système de déplacement de la puce sous le faisceau (platines pas à pas) ou du faisceau sur la puce (scanner galvanométrique). La coopération de chacun de ces éléments est automatisée via une IHM PC développée en C++ ou sous environnement LABVIEW.

Outre son importante activité expérimentale, le plateforme ATLAS comporte aussi des outils de simulation numérique TCAD (SENTAURUS).

Activité

Modalités d'accès

Pour toute demande, veuillez contacter Frédéric Darracq

Tutelles et partenariat

Université de Bordeaux, CNRSCentre national de la recherche scientifique , Bordeaux INP

Mise à jour le 17/09/2019

Contact

Frédéric Darracq
Responsable

IMS - Bâtiment A31
351 cours de la Libération
33405 Talence cedex